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二十周年谱新篇 芯源微浸没式高产能涂胶显影机通过客户验证

发布时间:2023-01-11 来源:爱游戏-体育app|全站下载 1 次浏览

  上证报中国证券网讯(记者 李兴彩)12月17日,芯源微举行浸没式高产能涂胶显影机新品发布会,并通过上证报路演渠道进行线上直播。这也是公司创建二十周年之际,尤其是登陆科创板之后,再度给工业和投资者交出的一份优异答卷。

  芯源微介绍,本次发布的浸没式高产能涂胶显影机是公司独立研制的第三代产品。该机型选用公司首创的对称散布高产能架构,搭载公司自研的双向同步取放爱游戏网页版官方进口手和36个腔体(处理单元),可大幅提高整机的爱游戏传送产能和传送精度,可以匹配全球干流光刻机联机出产。

  前道涂胶显影爱游戏安卓版应用是半导体出产的要害爱游戏app官方在线登录,也是本乡半导体爱游戏登录进口范畴的“短板”。芯源微前道规划部总监程虎介绍,作为一种高速度、高精度、高洁净度的工艺爱游戏华领会官方进口,前道涂胶显影机的研制、量产触及多学科集成和多专业协作,需求ayx爱游戏最新版商长期的技能储备和验证数据堆集。

  记者了解到,涂胶显影机的开展跟从光刻技能进步,未来,光刻技能将出现两大开展趋势,一是光刻工艺涂层增多,比方需求添加抗反射涂层;二是光刻机产能不断提高。为了合作光刻机产能,涂胶显影机产能装备一般高出光刻机10%,这也就意味着,涂胶显影机内单元品种和数量、传输用爱游戏在线登录手都将大幅添加。

  “现在,该款机型已通过客户端验证,到达客户量产要求。”在发布会上,程虎泄漏,为应对未来光刻机产能的不断提高,公司本次发布的机型还可扩展至48腔,产能到达360片/小时,可在低占地面积下统筹机台易保护性,有用提高机台保护功率。

  材料显现,芯源微于2002年由中科院沈阳爱游戏网页版官方进口所建议创建,通过17年的尽力,公司于2019年12月登陆科创板,成为辽宁省科创板榜首股,也是国内光刻工艺爱游戏爱体育榜首股。得益于在涂胶显影范畴的深沉堆集,公司已将事务扩展到单片式湿法爱游戏app官方在线登录(包含清洗、湿法刻蚀、去胶等),首要客户包含台积电、中芯世界、上海华力、长江存储、士兰微、青岛芯恩、华天科技、长电科技、三安光电等海内外闻名半导体制造商。回来搜狐,检查更多